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AIXTRON機臺測溫儀EX-C-7FL

描述:AIXTRON機臺測溫儀EX-C-7FL系BASF生產的高精度藍寶石光管高溫計,被用作用作AIXTRON G3,G4,G5 MOCVD機臺底部的測溫系統(BOTTOM TEMPERATURE MONITOR)。
訪問次數: 441
更新時間: 2025-04-09

產品介紹

主要特點

  • 使用短波進行低溫測量

  • 精密度高, 分辨率達 0.01 oC , 測溫精度1.5 oC

  • 測溫重復性 0.1 oC , 溫漂不高于 0.1 oC / 年

  • 測量速度達 1,000 值 / 秒

  • 數字/或模擬輸出, 易于集成到控制系統




詳細說明

AIXTRON機臺測溫儀EX-C-7FL系BASF生產的高精度藍寶石光管高溫計,被用作用作AIXTRON G3,G4,G5 MOCVD機臺底部的測溫系統(BOTTOM TEMPERATURE MONITOR)。

AIXTRON機臺測溫儀EX-C-7FL包含EI110傳感器,光纖,藍寶石光管,IFD5數字模塊,IFA5模擬模塊,配套線纜等,測溫范圍覆蓋100-1800℃,精度高達1.5℃, 重復性0.1℃。

BASF Exactus®系列測溫儀已廣泛用于快速退火、快速氧化、薄膜沉積等半導體工藝,并被集成在多家MOCVD設備以及其他RTP設備上如:AIXTRON, LPE,Premtek等。另外,由于其具有很高的測溫精度和穩定性,也被一些高溫黑體爐廠家作為溫度標準器使用,如Thermogauge公司。

典型應用

  • RTP控溫

  • MOCVD控溫

  • MBE控溫

  • 溫度標準器



技術參數

測量參數
溫度范圍:

100 – 1800℃

工作波長:

1550nm

測量精度:優于1.5℃ 或 0.15%測值
分辨率:

最高0.01℃

重復精度:0.1℃
溫度漂移:最大 0.10℃/年
環境: 0.05℃/℃ @ 20-45℃, 0.10℃/℃ @ 其它溫度
鏡頭:藍寶石光管
物理參數
供電:12-28 VDC, 3W
存儲溫度:-20 to 70℃
環境溫度:

電子器件: 0 - 60℃
惡劣環境下專用鏡頭: 0 - 250℃
高溫光纖: 0 - 250℃

外殼材質:傳感器和鏡頭外殼,304 不銹鋼/鋁;
氣吹外殼,鋁;
惡劣環境專用鏡頭: 304 不銹鋼;
重量:標準高溫計,0.510 kg (1.125 lbs.)
光纖傳感器,0.198 kg (7 oz.)









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